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- バルブ
- ガス用圧力調整弁 / 減圧弁
- SMC Corporation of America
ガス用圧力調整弁 / 減圧弁 AP500 series膜一段ステンレス製
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特徴
- 流体
- ガス用
- 技術
- 膜
- 段数
- 一段
- 材料
- ステンレス製, ハステロイ製, 半導体
- 応用
- 産業用
- その他の特徴
- コンパクト, 大流量, 耐腐食性
- 圧力
最少: 3,400 Pa
(0.49 psi)最大: 700,000 Pa
- 流量
15 l/min, 30 l/min
(3.96 us gal/min, 7.93 us gal/min)- 温度
最少: -40 °C
(-40 °F)最大: 71 °C
(159.8 °F)
詳細
APシリーズは、半導体やその他のクリーン産業におけるガス供給用の超高純度（UHP）レギュレータです。 このシリーズは、低流量から高流量まであり、一部のモデルはタイドダイアフラムデザインを採用しています。耐食性に優れたハステロイ®製内部構造、チューブスタブ溶接フィッティング接続タイプ、各種表面仕上げなどのオプションがあります。
- 流量：標準～15slpm、HF（オプション）～30slpm
- サブアトモスフェリック圧送オプション
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カタログ
AP Ultra High Purity
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