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ガス用圧力調整弁 / 減圧弁 AP500 series
膜一段ステンレス製

ガス用圧力調整弁 / 減圧弁 - AP500 series - SMC Corporation of America - 膜 / 一段 / ステンレス製

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特徴

流体

ガス用

技術

膜

段数

一段

材料

ステンレス製, ハステロイ製, 半導体

応用

産業用

その他の特徴

コンパクト, 大流量, 耐腐食性

圧力

最少: 3,400 Pa
(0.49 psi)

最大: 700,000 Pa

流量

15 l/min, 30 l/min
(3.96 us gal/min, 7.93 us gal/min)

温度

最少: -40 °C
(-40 °F)

最大: 71 °C
(159.8 °F)

詳細

APシリーズは、半導体やその他のクリーン産業におけるガス供給用の超高純度（UHP）レギュレータです。このシリーズは、低流量から高流量まであり、一部のモデルはタイドダイアフラムデザインを採用しています。耐食性に優れたハステロイ®製内部構造、チューブスタブ溶接フィッティング接続タイプ、各種表面仕上げなどのオプションがあります。 - 流量：標準～15slpm、HF（オプション）～30slpm - サブアトモスフェリック圧送オプション

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