ピストン式バルブ XLA series

空気操作軸工業用

XLA-2シリーズは、高真空とプロセスガスを使用する産業用アプリケーションで使用される高真空アングルバルブです。 このアングルバルブは、半導体、太陽電池、その他の電子機器、食品、製薬などの産業でよく使用されます。 XLA-2バルブは単動式で、通常は閉じており、シャフトとスプリングの上にベローズシールが付いています。 パイロットポートに圧力がかかると弁が開きます。 ベローズシールは交換可能で、メンテナンスコストと廃棄物を削減できます。 バルブ本体は硬質陽極酸化処理されたA6063アルミニウムで、バルブとベローズは304ステンレス鋼です。 多数のシール材が用意されているので、幅広い化学的互換性があります。 - 優れた熱伝導性により、温度が均一で、バルブ内部のガス凝縮が少ない。 - フッ素ガスに対して高い耐食性 - アウトガスの発生が少ない - 重金属による汚染が少ない - オプションのヒーター - 位置センサー（オプション - 内部シュウ酸アルマイト処理（オプション