ゲートバルブ XGTP series手動式中性ガス用ウェハー用
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 手動式
- 使用流体
- 中性ガス用
- 応用
- ウェハー用
- 圧力
最大: 600,000 Pa
(87 psi)最少: 450,000 Pa
(65.3 psi)- 温度
150 °C
(302 °F)
詳細
・長寿命：300万回（常温時）
・発塵量：1/5以下に低減（従来品比）
・メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
・安全対策
メカ式エンドロック機構採用
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