実験用反応器 HF60

連続廃水処理用産業用

概要
産業用途および研究開発（R&D）向けのダイヤモンド成長システム。Socrate Industrieは、顧客のプロセスと生産要件に合わせたカスタムPECVDおよびHFCVD装置を設計します。

技術と要点

• NEOCOATとの協業で開発された2つのダイヤモンド成長技術
• MWCVD技術：マイクロ波プラズマCVDリアクター（MW6シリーズ）
• HFCVD技術：ホットフィラメントCVDリアクター（HFシリーズ）
• 代表的な用途：シリコンウェハーのコーティング、厚膜成膜、浄水処理と分析

追加情報

• 製品紹介にはPECVDおよびHFCVDリアクターやダイヤモンド成長装置の画像・動画を掲載
• 製品ページにてダウンロード可能な資料を提供

技術仕様

• 製品種別：ダイヤモンド成長装置（PECVD / HFCVD）
• シリーズ：HFおよびMW6
• MWCVD：マイクロ波プラズマCVDリアクター
• HFCVD：ホットフィラメントCVDリアクター
• 用途：ウェハーコーティング、厚膜成膜、浄水処理と分析
• パートナー：NEOCOAT（開発パートナーシップ）