フォトレジスト原料や高純度薬品のろ過に適したフィルターカートリッジです。
製品の詳細
従来品と比較し膜の厚みが18~116%厚いため、ゲル状物質や凝集物の除去能力に優れています。
フィルター前後の圧力差が少ないため、マイクロバブルの発生を抑制できます。
フィルターコアをなくし、フィルター内のホールドアップ量を削減でき、高価な液体のロスや廃液を削減できます。
推奨アプリケーション
フォトレジスト
ARC・BARC・TARC
エッチング液/剥離剤
ポリイミド
アルコール類
アルカリ類
現像液
各種溶媒