圧力式キャリブレーション用制御パネル MP3

ステンレス鋼製手動式空気圧

質6.0からの半導体のガスのための圧力制御のパネル 不用なガス弁 手動(空気の)プロセスガス(EMO-)弁 パージのガス弁 プロセスガスがpugeのガス管線に再び流れることを防ぐべき点検弁 前フィルター 圧力調整器 破烈ディスク 破烈ディスク監視のための接触の圧力計 安全弁 粒子自由なプロセスガス供給のためのフィルター プロセスガス管線切断弁 システム(低圧)出口弁 漏れ試験または真空テストのための切断弁 真空のコネクター すべてのガスぬらされた部品はHastelloy CおよびPCTFEと同様、ステンレス鋼1.4404 ESUから作った 100%はヘリウム漏出テストした クリーンルームのクラス100/10のアセンブリ