セラミック用研磨機 FAM5 seriesシ－ト自動片面
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特徴
- 加工素材のタイプ
- セラミック用
- 応用
- シ－ト
- その他の特徴
- 自動, 片面, 精密, 化学的機械
詳細
シリコンベアウェーハ向け自動片面研磨装置です。セラミックプレート自動搬送、超低熱膨張定盤、定盤冷却、研磨ヘッドの単独強制駆動、精密エアー加圧、通信システムなど、様々な先進技術を搭載しています。
カタログ
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