セラミック用研磨機 DSM20B-5P-4D

自動両面

300mm 又は 200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置です。 1 バッチあたり 300mm で 5 枚、 200mm で 15 枚を安定量産します。平坦度管理、自動化、メンテナンスに最も適した装置サイズで、厳しい精度要求に応えます。