Pirani真空計 HVG-2020B
ピエゾRS485USB

Pirani真空計
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特徴

技術
Pirani, ピエゾ
その他の特徴
RS485, USB
真空範囲

最少: 0.0001 Torr (0.000001934 psi)

最大: 1,000 Torr (19.33672127 psi)

詳細

HVG-2020Bの広範囲のデュアルセンサー真空計は、測定を次のレベルに引き上げます。 ピエゾベースのセンサーとサーマルベースのピラニセンサーにより、70年間にわたる圧力を正確かつ自信を持って測定できます。 ピエゾセンサは媒体絶縁型で、ガス組成に依存せず、ピラニセンサによって定期的にゼロ化されています。 周囲温度センサーにより、温度調整が可能になり、精度が向上します。 オプションのタッチスクリーンディスプレイ、無料のWindowsデータ収集ソフトウェア、およびさまざまなデジタル通信経路により、HVG-2020Bは柔軟でユーザーフレンドリーです。 USB、RS 232、RS 485、リニア出力またはログ出力、グラフィカルディスプレイまたはデータ収集ロギングが必要な場合でも、この広範囲のゲージを実行できます。 アプリケーションと産業 半導体エッチング スパッタリングチャンバー ロードロックシステム プロセス制御およびテスト プラズマコーティング

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カタログ

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。