概要HVG-PR ピラニ式熱真空計は、大気圧から0.1 mTorr(1.3 x 10-4 mbar / 1.3 x 10-2 Pa)までの圧力を測定します。HVG-2020B と同等の高精度ピラニセンサー技術を採用しており、OEM用途、システム統合、プロセス自動化に適したコンパクトでコスト効率の高い筐体で提供されます。
主な特長- 測定範囲:大気圧〜0.1 mTorr(1.3 x 10-4 mbar / 1.3 x 10-2 Pa)
- センサー:高精度ピラニ熱センサー(HVG-2020B と同等の技術)
- プロセス接続:KF-16 フランジまたは 1/8" MNPT
- アナログ出力オプション(対数):1 V/decade(2–9 VDC)または 1.286 V/decade(1.16–10.162 V)
- デジタル通信:RS-485(標準)
- 電源、アナログ出力、デジタル通信を単一の RJ45 コネクタで供給
- 上面パネルのステータス LED による迅速な圧力表示
- OEM およびプロセス統合に適したコンパクト設計
機械的および電気的接続- プロセス接続:KF-16 フランジまたは 1/8" MNPT
- インターフェース:電源、アナログ出力、RS-485 を伝送する単一の RJ45 コネクタ
- アナログ出力仕様:1 V/decade(2–9 VDC)または 1.286 V/decade(1.16–10.162 V)
用途・業界- 分析機器
- フォーライン監視
- ガラスコーティング
- 薄膜堆積
- 半導体プロセス
- 凍結乾燥(フリーズドライ)
- 真空炉 / 熱処理
- HVAC・製氷機
- 油の再処理
ダウンロード- 製品概要(HVG-PR Product Bulletin)
- 取扱説明書
- クイックスタートガイド
仕様- 型番:HVG-PR
- 圧力範囲:大気圧〜0.1 mTorr(1.3 x 10-4 mbar / 1.3 x 10-2 Pa)
- センサー種別:ピラニ熱センサー(HVG-2020B と同等の高精度センサー)
- 接続:KF-16 フランジまたは 1/8" MNPT
- アナログ出力:1 V/decade(2–9 VDC)または 1.286 V/decade(1.16–10.162 V)
- デジタル通信:RS-485(標準)
- インターフェース/コネクタ:電源、アナログ、デジタル信号用の単一 RJ45
- 表示:上面パネルのステータス LED
- 想定用途:OEM 統合、システム統合、プロセス自動化