3軸配置 コントローラ PEPS® II

デジタル電子式高性能

概要- PEPS® IIは、TMCの特許取得済みPEPS®（精密電子測位システム）に基づき改良されました。新しいデジタルコントローラによってPEPS® IIは使いやすく、より多くの機能を提供し、ユーザーインターフェースも改善されています。PEPS® IIは、TMCの空気ばね式除振装置用、デジタル非接触性の高さ調節システムです。このようなシステムは通常、機械的な高さバルブや機械的な高さ検出リンク装置を搭載しています。アプリケーションには、半導体製造装置の整定時間の改善と生産性の向上させるものから、最適なノイズ性能と定盤の安定性が要求される精密なラボ環境作りをするものまで様々あります。 米国特許第5,832,806号 特長- デジタル制御、使い勝手の良いLCDインターフェース •Gimbal Piston™、CSP®、MaxDamp®除振台用の非接触性電空式高さ調節装置 •Z軸位置繰り返し精度：10ミクロン •従来の機械製の高さ調節システムのレバーへの接触を排除することで除振効果を改善 •XYステージモーションに対するZ軸の反応を最小限にする空気ばね式フィードフォワード機能 •X-Yステージによって誘発されたモーションを即座に安定させるためのチューニングも可能 •オプションの "VX"機能は、垂直型除振装置の共振をアクティブダンピングするための慣性センサーを採用 「ソフトドック（軟結合）」対応。運動学的マウントなしでウェハーのロード/アンロードが可能 比例電子バルブ。「オン・オフ」または従来の電子バルブによるパルスノイズなし 清浄された排出空気用の排気管 ロジックドックの制御とステータス