非接触式プロフィロメータ TR SCAN COMPACT WILI

白色干渉法コンパクト

トリモスのTRスキャンコンパクトWILIシリーズは、サブナノメートルの分解能であらゆる種類の材料の測定が可能です。 シンプルな操作性と小型化により、ラボ環境にも容易に溶け込み、迅速かつシンプルな測定を実現します。 - 小さなフットプリント - 非接触 - 測定範囲400μm - 分解能0.1ナノメートル - 簡単な操作 - 光学系を交換可能、またはカルーセルに搭載可能 - 2.5倍と5倍のマイケルソン型光学系で広視野を実現 WLI (While Light Interferometry) 技術とピエゾモーターの組み合わせにより、非常に高速な測定が可能です。 テーブルは、最大5kgまでのワークを手動で移動させることができます。 X&Yの測定範囲を広げるために、モーター付きテーブルもオプションで用意されています。