床置き電源 TruPlasma MF Series 7000 (G2)

AC/AC産業用高出力

概要
TruPlasma MF Series 7000 (G2) は、中周波（MF）スパッタリング工程において優れたアーク管理と点火特性によりプロセスを完全に制御します。大面積コーティングやデュアルマグネトロンスパッタリングなど要求の高い反応性プロセス向けの電源として設計されています。ピーク効率は90％超、運転効率は80％以上を実現し、冷却水管理の最適化により運用コストを低減します。

主な利点

• 高いコーティング品質と生産性：厳しい反応プロセスでも優れた結果と高い成膜速度を実現。
• 高効率：ピーク効率 > 90％、運転効率 > 80％。
• あらゆる環境条件で安定した電源供給：高い冷却水温度や低い差圧下でも信頼性の高い動作。
• 世界中で使用可能：広い接続電圧範囲により技術的調整が不要。

用途

• 大面積コーティング（例：建築用ガラス）での安定性・均一性が重要な工程。
• デュアルマグネトロンスパッタリングによるフラットスクリーンやタッチパネルの超薄膜 AlxOx コーティング。
• 太陽電池製造：MF スパッタでの均一な TCO（透明導電膜）成膜。

顧客メリット／プロセス制御

• 少ないパラメータ設定で精密なプロセス制御が可能、アーク感度とスループットのバランスを取りやすい。
• 優れたアーク管理：反応速度が高く残留エネルギーが小さいため、アークによるターゲット損傷を防止し、電圧制御の遷移モードをサポート。
• 各種インタフェースと TruControl Power による構成・診断が容易。

オプション

• 高湿度環境向けのスイッチキャビネット用アクティブ除湿（冷却水制御が必要）。
• キャビネット扉の大開口オプション（180°；標準130°）。
• インタフェース：Profinet、Profibus、EtherCAT、アナログ／デジタルI/O。
• 超高速アーク管理（UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW オプション；標準 ≤ 10 mJ/kW）。UltraFastTreatment 適用には安全カテゴリ3が必要。
• 点火補助：アーク発生と熱ストレスを低減、点火電圧・ランプタイムを個別設定可能。
• 周波数範囲拡張オプション：100 kW までの MF ジェネレータに対して 20–70 kHz（標準 20–50 kHz）。

ソフトウェア
TruControl Power：操作、構成、診断のための多言語対応で直感的なソフトウェアを提供します。

システム構成品およびアクセサリ

• システム性能を最適化するための最適化済みTRUMPF Hüttinger 中周波電力ケーブルを同梱。
• 設備環境に合わせて TruPlasma MF Series 7000 (G2) を構成するための各種システムコンポーネントを選択可能。

ダウンロード
製品パンフレット（PDF）を用意しています。

仕様（技術データ）

• 機種名：TruPlasma MF Series 7000 (G2)
• ブランド：TRUMPF
• ピーク効率：> 90％
• 通常運転効率：約 > 80％
• 出力レンジ：MF ジェネレータは最大 100 kW まで対応（構成により異なる）
• 標準周波数範囲：20–50 kHz；拡張オプション：20–70 kHz（100 kW まで）
• UltraFastTreatment（オプション）：≤ 1 mJ/kW；標準 ARC 処理：≤ 10 mJ/kW
• UltraFastTreatment の安全要件：安全カテゴリ3
• 点火補助：点火電圧・ランプタイムを調整可能
• キャビネット扉：標準 130° 開放；オプション 180°
• 冷却：効率的な冷却水管理；高い冷却水温や低差圧下でも安定動作
• インタフェース：Profinet、Profibus、EtherCAT、アナログ／デジタルI/O
• ソフトウェア：TruControl Power（多言語）による操作、設定、診断
• 代表的用途：大面積コーティング、デュアルマグネトロンスパッタリング、反応性プロセス、ディスプレイ・太陽電池向け薄膜コーティング