乾式真空ポンプ PRC series

一段水機械式過給機式

メカニカルブースターポンプ PRC シリーズ ドライ真空ポンプ、オイルロータリー真空ポンプ、または水密封真空ポンプと組み合わせることで、機械式ブースターポンプは10kPa ～ 0.1 Paの範囲でポンプ速度を上げることができます。 PRCシリーズは、特に清潔さを必要とする半導体および液晶ディスプレイプロセス向けに設計されています。 大気圧スタートタイプはオプションとして選択できます。 オイルフリー ポンプケーシングにオイルがないので、 水蒸気や溶剤蒸気を排出しても安定した性能を発揮します。 缶詰モータ缶詰モーターを 使用すると、 大気と真空の間にメカニカルシールを使用することを避けることができます。 油漏れを心配することなく清潔な環境で使用できます。 表面の 硬度と耐腐食 性に優れた耐食性表面処理陽極酸化皮膜は、 ポンプ内部の傷や腐食を防ぎます。 非表面処理は オプションとして選択できます。 より 短い避難タイプの大気圧スタート タイプ (オプション: インバータ) このタイプは、ポンプを 荒削りと同時に始動させるため、標準タイプと比較してポンプ時間を短縮できます。