スクリュー真空ポンプ MS

乾式一段ガス

ドライ真空ポンプ MS シリーズ MSシリーズは、スクリュー式ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。 従来のLSシリーズをベースに耐腐食性、粉体排気性を向上させたプロセス耐性モデルです。腐食性ガスの使用や粉体排気の工程を想定したモデルです。 特長 ローターシャフト、シリンダー等の主要部品に特殊コーティングを施し、耐腐食性を向上。 アルバック独自設計のローターシャフトを採用し、粉体排気性能に優れています。 大気圧付近での連続圧送が可能。 特徴・用途 半導体・電子デバイス製造装置用真空システム エッチング、アッシング、プラズマ洗浄など 炉用真空システム 焼結、浸炭など リチウムイオン電池製造装置用真空システム 電極乾燥、脱ガス、真空封入など 医療・食品用真空システム 凍結乾燥、真空乾燥など