ニス塗装機 TCS

スピンコーターTCS 特徴。 ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェース 20ステップで最大50プログラムを保存 繰り返し処理のためのクイックスタートボタン 真空または機械的な基板固定（真空は安全インターロックを持っている 安全インターロック機能付き透明カバー スピンコーターTCS TCSシリーズスピンコーターは、MEMS、半導体、PV、マイクロ流体などの研究開発や小規模生産向けに設計されています。TCSシリーズのスピンコーターは、最大150mmまでのピースから125x125mmまでの角型基板まで、幅広い範囲の丸型ウェハに対応しています。多くのオプションが用意されており、お客様のご要望に完全にお応えすることができます。 化学薬品の投薬との最もよい化学薬品の両立性のためにボールは POM、陽極酸化されたアルミニウム、ポリプロピレンまたは PTFE から作ることができます。 スピンコーティングプロセスは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイで構成されています。ユーザーは20のステップで最大50のレシピをプログラムすることができます。各ステップは、異なる速度、加速度、時間パラメータを持つことができます。 オプションです。 空気圧式シリンジ塗布装置 電動式シリンジディスペンサー デジタルゲージと圧力制御を備えた加圧式ボトルディスペンスシステム 各種真空または機械式チャック ウェーハアライメントツール アルマイト処理されたアルミニウム、ポリプロピレン、またはPT製のボウル 仕様です。 - ウエハサイズは、mmまで 150 (6") 基板サイズ、mmまで 125x125 速度範囲、rpm 0 – 10 000 電源電圧 230 VAC 50/60Hz 11A 技術的な真空、バー -0,85 真空管コネクタ、mm 6 ドレンコネクタ、mm 12 排気コネクタ、mm 40 寸法（mm 355х490х410 重量、kg 23