自動ニス塗装機 LCS

セミオートマチックスピンコーター＆デベロッパーLCS 特徴。 ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェース 最大5本の投与ライン プログラム可能な塗布高さの電動アーム 小さなフットプリント 600x625 mm 自動透明カバー 豊富なスピンコーティングチャックサイズ 素早く簡単にチャック交換 簡単な洗浄工程のボウル LCSは、ウェハやフラット基板の半自動スピンコーティングと現像用に設計されており、パイロットプロジェクト、研究機関、R&Dに最適な装置です。高い均一性と再現性が保証されており、簡単な操作とメンテナンスが可能です。最大150mmまでのウェハや125x125mmまでの角型基板の処理が可能です。 化学薬品の投薬との最もよい化学両立性のためにボールは POM、陽極酸化されたアルミニウム、ポリプロピレン、ステンレス鋼または PTFE から作ることができます。 スピンコーティングプロセスは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイで構成されています。ユーザーは20のステップで最大50のレシピをプログラムすることができます。各ステップは、異なる速度、加速度、時間パラメータを持つことができます。 オプションです。 バックサイドリンス（BSR エッジビード除去（EBR 空気圧式シリンジ塗布装置 電動式シリンジディスペンサー デジタルゲージと圧力制御を備えた加圧式ボトルディスペンスシステム 各種真空または機械式チャック ウェーハアライメントツール アルマイト処理されたアルミニウム、ポリプロピレンまたはPTFE製のボウル 仕様です。 ウエハサイズは、mmまで 150 基板サイズ、mmまで 125x125 速度範囲、rpm 0 - 10 000 投与ライン 最大5 保存されているプログラム 実質的に無制限 電源電圧 230 VAC 50/60Hz 15A CDA供給圧力、バー 4-5 CDAコネクタチューブ、mm 8 エキゾースト、m3 55-60 排気コネクタ、mm 50 ドレンコネクタチューブ、mm 12 全体の寸法、mm 六百六十二分六十二分一三〇〇〇