ダイシング・剥離機 SATURN

幅広い加工材料 サターンダイシングソーは、幅広い素材の高精度なダイシングやスクライビングに対応するために設計されています。 セラミック基板 石英 シリコンウェハー ＧａＡｓ フェライト目 ニオブ酸リチウム エムイーエムエス ＬＥＤ ガラス、その他多数。 剛性の高いフレーム構造、精密にバランスのとれたエアベアリング主軸とワークのスムーズな送り出しにより、高品質なダイシングを実現しています。 ハイライト - 高精度エアベアリングスピンドルによる高品質な切断とチッピングの低減 - オフチャック光学式ブレード測定センサ - 小ロット生産、大学、R&Dに最適です。 - シンプルなユーザーインターフェースにより、プログラムの高速入力が可能 - エアベアリングX軸はワークのスムーズな送りを実現 高精度位置決めのためのクローズドループ制御 クローズドループ制御は、Y軸、Z軸、シータ軸に沿った位置決めに使用され、最大3ミクロンの切削精度を実現します。 一定の切り込み深さ サターンダイシングソーは、ダイシングブレードの外径測定用にオフチャック光学センサーを搭載しています。ブレード摩耗予測アルゴリズムと連動して、ダイシング中のブレード摩耗を補正し、常に安定したダイシングを実現します。