ダイ・マトリックスエキスパンダー DME-220
8インチまでのウェハーに対応
75 mmのストロークを調整可能なモーター駆動ラム
調整可能なラム速度
全方向に広がる均一なウェハ
電動式フィルムカッターシステム
ワークステージは75 оСまで加熱されます。
簡単な操作とメンテナンス
DME-220は、ダイシング後のウェーハエクスパンディングを行うことで、安定したチップ分離距離を実現しています。ウェーハエキスパンドを行うことで、ピックアップ作業が容易になり、エッジチッピングを防止することができます。
仕様: - - ウェーハサイズ max, mm
ウエハサイズ、最大、mm
8"
ラムストローク、最大、mm
75
ワークステージ温度, max, оС - %.
75
電源電圧
230 VAC 50Hz 10A
寸法(mm
540x380x180
重量、kg
45
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