ストローク長が長いため、高い伝導度を実現
優れた気密性、脱ガスが最小限
+150 °CまでWIGベーク可能なステンレス鋼製VEモデル
分解が簡単で、シールの交換も容易
VEバルブの寸法は、対応する公称幅のエルボと同じ
高真空ベローズバルブの動作例
ベローズシール式直角バルブ VE、ステンレス鋼、KF DN 16
高真空用、ヘリウムリークテスト済みの直角バルブ VE は、真空側で駆動機構を隙間なく密閉するステンレス鋼製ベローズを備えています。ねじ式機構により、これらのバルブは導通率を一定に制御することが可能です。 両方向で気密性を確保しているため、どの位置でも取り付け可能です。本体は、一体成型のアルミニウム製またはステンレス鋼製(VE WIG)です。ステンレス鋼製バルブは、最高の気密性と最小限の脱ガス率を実現するため、内側からタングステン不活性ガス溶接(TIG溶接)が施されています。
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