ゲートバルブ 652 series

電動式絶縁調圧

腐食性の半導体およびFPDプロセス（例えばエッチング）と沈殿プロセス間のクリーニング プロセスのために最大限に活用される。制御モードでは、弁は事実上粒子なしを働かせる。維持はされた容易および速い場合もある。利点は延長制御範囲である。