ゲートバルブ 031 series
空圧式ロック可能アルミニウム

ゲートバルブ
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特徴

タイプ
ゲート
作動
空圧式
ボディー
ロック可能, アルミニウム
応用
半導体産業用
その他の機能
移動用
その他の特徴
複動式
呼び径

最少: 32 mm
(1.26 in)

最大: 420 mm
(16.535 in)

圧力

最少: 3 bar
(43.5 psi)

最大: 7 bar
(101.5 psi)

温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最大: 40 °C
(104 °F)

詳細

200そして300のmmのウエファーのための半導体のプロダクション システムの負荷ロックそしてプロセス部屋の分離のため。-閉鎖した位置-低い衝撃締められて-で機械的に差動圧力タブは代りにかいま見る標準的なSU (選択)を

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。