ゲートバルブ 053 series空圧式半導体産業用アルミニウム
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 空圧式
- 応用
- 半導体産業用
- 素材$
- アルミニウム
- その他の特徴
- 複動, 腐食環境用
- 呼び径
50 mm, 336 mm, 480 mm, 500 mm
(1.969 in, 13.228 in, 18.898 in, 19.685 in)- 圧力
最少: 4 bar
(58 psi)最大: 7 bar
(101.5 psi)- 温度
最少: 0 °C
(32 °F)最大: 120 °C
(248 °F)
詳細
負荷ロック/プロセス モジュールの分離のため。300mmおよび450mmの半導体の塗布のため。
アクチュエーター
他の電磁弁の電圧（標準的な24VDC）
挿入物
他の密封材料、例えばFFKM、VMQのFVMQのゲートのシール
加硫させたシール（標準）の代りのゲートのOリングのシール
ゲートのステンレス鋼
二重位置表示器
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