電磁弁 061 series
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特徴
- 温度
最少: 0 °C
(32 °F)最大: 120 °C
(248 °F)
詳細
第 4 世代から11 台までのフラットパネルディスプレイ生産システム用トランスファーバルブ。 FPD 生産システムでは、TwinVAT 搬送バルブは、ロードロック、搬送、プロセスチャンバ分離に使用されます。 バルブ@@
プロセス制御ユニット（PCU）およびソレノイドバルブ
表面処理、例えば硬質陽極酸化アルミニウム
真空ゲージバルブ本体の内部の圧力を検出する
垂直取り付け位置
ゲート
その他シール材料
電気接地
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カタログ
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