モジュールバルブ MVM series

MVMソリューションは、バルブとポンピングラインの統合により、お客様のシステムを簡素化し、フットプリントを低減します。 チャンバー容積とシール数を最小限に抑えることで、ポンピングとベント時間が短縮され、スループットが向上します。