クリーンルーム用層流モジュール ultraclean®

層流 ultraclean® 層流ultraclean®は垂直の低擾乱流量変位で作動し作業エリアのISO 14644-1清浄度クラス5要件を満たしています。クリーンルームユニットは恒久的過気圧状態にあり、微粒子が充塡領域・作業領域に入り込むことを防ぎます。