ラックマウント電源 EMC

DC/DC負荷保護付過電流保護付き

Wisman高圧電源のEMCシリーズは、集束イオンビーム用の包括的なマルチ出力高圧電源です。代表的なアプリケーションには、透過型および走査型電子顕微鏡、半導体分析、光ディスクドライブヘッドのフライス加工および修理、イオンビームエッチング、集束イオンビームリソグラフィーなどがあります。モジュール設計のアプローチにより、個々のコンポーネントを大型シャーシ上の一般的なラックマウントアセンブリに簡単に構成することができます。インターフェース、ロジック、制御回路は表面実装技術で製造され、コストとサイズを最小限に抑えている。加速電源、フィラメント電源、アブソーバー電源、サプレッサー電源、レンズ電源を内蔵。低出力リップル、優れた同調比、安定性、温度ドリフト、精度。ウィスマン独自の高電圧サスペンションとデジタル制御技術。EMCシリーズの高精度モジュールは価格競争力があり、OEMアプリケーションに最適です。 用途 電界放出型走査電子顕微鏡 電子ビーム電源 半導体分析・加工・修理 イオンビームエッチング 集束イオンビームリソグラフ 技術パラメーター 加速電源 出力電流 100μA、300μA リップル 100μA:75 mV P-P、0.1 HZから1MHZまで 300μA：120mV P-P，0.1Hzから1MHZまで 入力調整比 入力変動±10% for 100mV 負荷調整率 最大電圧±0.01%、全負荷変動時 安定性 1.予熱2時間後：5V/10時間 温度係数 25 PPM / °C フィラメント電源 リップル 負荷調整比： ± 0.1 %、最大電圧、全負荷変動 ライン調整比： +/-5mAに対して±10%の変動