ラックマウント電源 ECB

AC/AC単一出力スイッチング

ECBシリーズは、静電吸引カップ（Eチャック、ESC）用の高電圧アンプです。極性切替や強制接地に加え、ウェハ検査ニーズに対応したウェハモニタリングシステムも搭載しています。さらに、広い電圧範囲により、クーロンおよびジョンセン・ラーベック静電吸着器をサポートしています。 アプリケーション 静電駆動式マテリアルハンドリング 半導体ウェハー加工 機械的ハンドリングに敏感なプレートやその他の加工材料の非機械的搬送