ウェハー用測定システム

磁気光学カー効果レーザー光学

ポロイド磁気光学カー効果 (MOKE) を使用して、ウェーハスタックの磁気特性が迅速かつグローバルに検出されます。 非接触測定は、従来の磁気特性評価によってウェーハへの損傷を回避し、パターン化の前後のサンプル検出に適用できます。 ウェーハモークは最大2.5Tの垂直磁場/1.3Tの面内磁場を提供でき、強い磁場は垂直異方性磁気ランダムアクセスメモリ (MRAM) の自由層、参照層、および固定層の反転を誘発する可能性がありますフィルムスタック; 異なるフィルム層の微妙な磁気変化を同時に特徴付けることができる超高カー検出感度。 レーザーのポイントごとの検出とスキャンイメージングを組み合わせることで、ウェーハの磁気特性のグローバルマップをすばやく作成し、プロセスの最適化と歩留まり制御を支援できます。 パフォーマンスインジケータと利点 ▹サンプルサイズ: 最大12インチウェーハテストをサポートし、下位互換性があり、フラグメントテストをサポートします。 ▹磁場: 最大垂直磁場は ± 2.5Tよりも優れており、磁場の分解能は1μTです。 ▹磁気検出感度: カー回転角の検出度は0.3 mdeg (RMS) よりも優れており、多層フィルムスタックの磁気特性評価に適しています。 ▹サンプルの繰り返し位置決め精度: ± 1μmより優れ、静的ジッター ≤ ± 0.25μm。 関数とアプリケーションのシナリオ MRAMスタックおよびデバイスアレイの垂直ヒステリシスループ測定 (MRAM用Polar Kerr); ▹ディスク (PMRディスク用Polar Kerr) などの磁気記憶媒体の垂直ヒステリシスループ測定。 ▹磁気センサーのフィルムスタックにおける面内ヒステリシスループの测定; ▹自由層や固定層Hc、Hex、Msなどのヒステリシスループ情報を自動的に抽出します。これにより、ウェーハの磁気特性の分布マップをすばやく描画できます。 ▹システムは、単一点、配列、およびリング分布などのスキャンモードをプリセットし、カスタム位置リストのインポートをサポートします。 ▹システムはR & D/生産の必要性を満たすために手動ローディングか全自動操作を提供します。