ECMの実験用炉

温度: 2,300 °C
容量: 75 l
幅: 40 cm

クリスタルは、高温用の真空熱処理炉です。炉内には金属製断熱材を装備し、ヒーターの素材にはモリブデンまたはタングステンが選択できます。清潔な高温熱処理を行うのに理想的な手段です。また、台上に直接部品を置く仕様で、正確な位置決めができる設計になっています。特許取得のヒーターデザインにより、プロセス制御が非常に正確になりました。 プラス＆メリット クリスタルシリーズの特長は、広い温度幅で真空熱処理ができることです。ヒーターの素材によっては、2300℃までの高温熱処理が可能です。 そのうえ、クリスタル炉は用途も多様で、高温下での清潔な熱処理が可能になりました。ワークは炉床上に設置するので装入しやすく、ワークを正確な位置に配置することができます。理想的な条件下でチャージの熱処理が行えます。 アプリケーション 焼戻し 磁気焼鈍 光輝焼鈍 ガス冷却制御 ガス抜き 焼結 金属とガラスの接合 セラミックと金属のろう付け 真空ろう付け ステンレス アルミ合金 超合金 チタン合金 耐火金属

温度: 1,600 °C
幅: 250 mm
高さ: 250 mm

ECMテクノロジーの真空炉ターコイズシリーズは、特に酸化しやすい合金の熱処理に適しています。 ニッケル、チタン、クロム、コバルト、モリブデン、タングステンなどは、特に中真空、高真空での処理が必要です。 ターコイズシリーズは、設備外でチャージが積載できるように設計されており、炉のドアに取り付けられた台にチャージを直接積載します。 この積載方法は、クリーンな環境への組み込みに適しています。 コンパクト設計の設備ながら、処理温度は1600℃までと、中真空または高真空にて幅広い温度での処理ができます。 プラス＆メリット ターコイズシリーズは、医療、航空機産業、自動車産業など先進的分野でのニーズに応えます。これは、特許取得のヒーターデザインにより、モリブデン製ヒーター本体の温度均一性が完璧なまでに高く、同時に金属断熱材の使用で汚染リスクのない清潔な処理が保証されるためです。 その上、中性ガスを使用した急速冷却方法により、冷却時間が短縮され、設備の生産性が向上します。 ...

温度: 1,600, 2,350 °C
容量: 75 l

真空炉リリプットには、ECMテクノロジーのほとんどの真空炉と同じ特性が付与されています。そのため、付加価値の高いアプリケーションをコンパクトに行うことができます。そのため、特に実験室、大学、研究所などでの使用に適しています。 プラス＆メリット 炉床が昇降する仕組みなので、炉床上の台に直接チャージを配置し、計器を取り付けられるというメリットがあります。さらにフレキシブル性を高めるため、使用条件、性能、処理金属材料に合わせてヒーターエレメントの素材を選択できます。 リリプットシリーズの標準仕様 ...

温度: 0 °C - 1,200 °C

... TubeStar炉プラットフォームはコンパクトなバッチ式管状炉です。このプラットフォームは拡散、酸化、蒸着用途に特化し、プロセスエンジニアリングのニーズに対応するよう設計されています。TubeStarシリーズはモジュール式でフレキシブルです。実際、1本から4本の独立した管で構成することが可能で、管当たりの処理能力は50枚です。 プラスアルファのメリット TubeStar炉プラットフォームは少量のウェーハ処理に優れているだけでなく、その柔軟性により大量バッチの処理にも適合します。TubeStar炉は、PV製造ラインのようなプロセス変更時の適格性確認において、その効率性を実証しています。 この管状炉の主な特徴のひとつは、高精度の熱処理と高度な調整の柔軟性にあります。これにより、幅広い応用が可能になります。 可能な用途 拡散 LPCVD 酸化 ...