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... SpectraFilm™ F10およびF20膜厚測定システムは、先端ロジックおよびメモリ・デバイスの重要な層の精密な薄膜測定を実現します。高輝度光源と拡張波長広帯域分光エリプソメトリー技術により、複雑なプロセスフローにわたって高速で信頼性の高い測定を実現します。SpectraFilm F10は、2nm以下のトランジスタ・アーキテクチャや最新のDRAMノードのゲート全周囲をターゲットとしており、サブ・オングストロームの精度で超格子HKMG層を制御し、しきい値電圧（Vt）分布を維持して性能を微調整します。SpectraFilm ...
KLA Corporation
... Aleris® 9350フィルム測定システムは、先端ロジック、DRAM、3D NANDをサポートする幅広い一般膜の膜厚、屈折率、応力、組成を信頼性の高い高精度で測定します。高輝度光源と最新の光学系を備えた最新のプラットフォーム上に構築されたAleris 9350は、広帯域分光エリプソメトリー（BBSE）技術を活用し、一般的なフィルム・アプリケーション向けに業界をリードする生産性と性能を提供します。レシピの移植やクロスプラットフォームのマッチング機能により、このシステムは多様なフィルム層の評価とモニタリングのための包括的なソリューションを提供し、ファブのプロセス制御の維持と歩留まりまでの時間の短縮を支援します。 エンジニアリング分析、インラインプロセスモニター、ツールモニター、プロセスツールマッチング アレリス8330 Aleris ...
KLA Corporation
... 製品概要
Gasboard-9809は、NH3およびN2Oの測定を目的に設計されたエンジン排気ガス分析システムで、Euro 7などの新しい規制要件に対応します。NH3検出にはTDLAS技術を、N2O検出にはQCL（量子カスケードレーザー）ベースのレーザー分光法を採用し、高感度かつ高速応答で背景ガスの干渉に強い測定を実現します。独立した採取、前処理、データ解析ユニットを備え、既存のEuro 6解析システムと並列運用してNH3/N2O測定を追加できるため、試験設備の大規模改造を必要としません。
主な機能
- 車両認証に関わる主要な国際規格（Euro
... 圧力測定機/炭酸製品 レーザー分光技術の革新的なインライン応用 容器のヘッドスペースを通過するレーザービームの解析は、ヘッドスペースに存在する圧力に関連する情報を提供することができる。 この方法により、閉鎖および容器自体の生理学的変化の影響を受けない直接測定が可能になる。 特許取得済みの計算アルゴリズムは、100％の生産で正確で信頼性の高い結果を保証します。 特徴 クロージャ、コンテナの種類に依存 しない色の制限なし (5% 透明度が必要) 非破壊/非接触 検査標準検査 漏れ検出 内圧 ...