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MEMS流量センサー
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... FS6122シリーズ・マスフローセンサは、質量流量、ゲージ圧、温度、湿度などのマルチパラメータ流量計測のためのユニークなソリューションを提供します。 質量流量、ゲージ圧、温度、湿度などの多パラメータ流量計測のためのユニークなソリューションです。これは 医療呼吸器用に設計されており、一般的な流量計測や制御アプリケーションにも適用できます。 制御アプリケーションにも適用できます。センサーは超低圧損で設計されています。現在のモデルは、人工呼吸器、呼吸分析器、CPAPなどの医療用アプリケーションや、環境モニターなどの他のアプリケーション、および多くのプロセス制御アプリケーションに容易に適用できます。 FS6122は、最大250SLPMまでの一方向または双方向流量、±100cmH2Oゲージ圧、および温度と相対湿度を測定できます。コネクタは完全にカスタマイズ可能です。 仕様 流量レンジ ...
... 高感度コアフローセンサは、伝熱原理に基づいている。センサー構造は、感応膜上に配置された微小熱源、微小熱源と対称に配置された上流側温度センサーと下流側温度センサー、シリコンベース上に配置された周囲温度センサーから構成される。センサー表面に流体の流れがない場合、微小熱源周辺の温度場は(a)のように対称に分布し、センサー表面に流体の流れがある場合、微小熱源への流体の冷却効果により微小熱源周辺の温度場は乱れ、微小熱源の上流と下流は図(b)のように非対称に分布する。(流体の流速が大きいほど、微小熱源から流出するガスの流量が大きくなり、非対称性が大きくなる。流体の流速は、上流側と下流側の温度センサーの温度差から求められる。 - ...
MEMSensing Microsystems (Suzhou,China)Co.,Ltd.
... 高感度コアフローセンサは、伝熱原理に基づいている。センサー構造は、感応膜上に配置された微小熱源、微小熱源と対称に配置された上流側温度センサーと下流側温度センサー、シリコンベース上に配置された周囲温度センサーから構成される。センサー表面に流体の流れがない場合、微小熱源周辺の温度場は(a)のように対称に分布し、センサー表面に流体の流れがある場合、微小熱源への流体の冷却効果により微小熱源周辺の温度場は乱れ、微小熱源の上流と下流は図(b)のように非対称に分布する。(流体の流速が大きいほど、微小熱源から流出するガスの流量が大きくなり、非対称性が大きくなる。流体の流速は、上流側と下流側の温度センサーの温度差から求められる。 - ...
MEMSensing Microsystems (Suzhou,China)Co.,Ltd.