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... Coat-X社との提携により開発されたパリレン成膜技術 電子機器、医療機器、半導体デバイスのコーティング用低温成膜システム：CX-30/300/600 革新的なパリレン・ALDハイブリッド多層成膜システム：CXC-20 自動搬送システムで接続されたALDモジュール＋PVDモジュール ...
... 本装置は、結晶系太陽電池のウェーハ前面に熱原子層堆積法（ALD）によりAl2O3薄膜を堆積させ、パッシベーション層を形成することで効率を高めるものです。 仕様 ハイスループット：12,800枚/時（1,600枚/艇）。 サイクルタイム：30分 稼働率：97 ...
... 実験室でのテストや小物部品の工業生産に最適 3D複雑形状部品に最適 Al2O3、TiO2のALD成膜が可能 リモートプラズマソース 4つの加熱プリカーサライン付きガスパネル（デフォルト）。 全体寸法 (L x W x H) - 2250 x 1160 x 1450mm 重量 - 350 kg チャンバーサイズ - ∅ 295 x 370 mm ツーリングサイズ - ∅ 260 x 320 mm 工具最大積載質量 - 100kg ダイマー負荷容量 - 150g ポンプ容量 - 40 m3/h 必要電源 ...