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ピエゾ抵抗型真空センサ
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圧力範囲: 1 mbar - 1,200 mbar
動作温度: 0 °C - 40 °C
... 逆転スイッチングロジックを備えた電子真空スイッチVRCIは、安全なスイッチとして機能し、または荒い真空でポンプやバルブを直接切り替えます。 測定信号の出力が追加されるため、問題なくプロセスを監視できます。 ...
圧力範囲: 37 mbar - 745 mbar
遮断容量(電流): 4, 15, 8 A
破裂圧力: 10.3 bar
... このコンパクトで経済的な真空スイッチは、多くのアプリケーションに適しています。取り付けが簡単で、セットポイントに素早くアクセスできるように設計されています。工場で設定された範囲と調整可能な範囲があります。 特徴 金メッキ銀合金接点 大電流対応 極端な温度環境下でも使用可能 経済的 アプリケーション 真空発生装置 産業用オートメーション エンジン負荷モニタリング ...
... 圧力計付き真空ON/OFFスイッチ(出力圧力 0/-1 bar) ・サイズ:100 × 40 × 28 mm . ネジ穴付き取り付け穴2箇所 . 真空クランプシステム用アクセサリー 同梱品: - 長さ5メートルの吸引ホース - リリースバルブ - コネクタ2個 - クランプリング2個 用途: 組立 保護 オプション: - 複数の出口を備えたスイッチブロック ...
圧力範囲: 0 bar - 1 bar
動作温度: 80 °C
... 概要
真空およびスパッタリング用途向けのコンポーネントと装置の包括的なラインナップで、チャンバーの隔離、圧力制御、真空エンクロージャを介した運動伝達向けにSocrate Industrieが開発しました。
掲載製品
- 真空スイッチ:接続点での真空の有無を検知し、電気制御やインターロック用途に適します。
- 特定ゲートバルブ:クラスター装置やプロセスツールでのチャンバー隔離用の加熱式ゲートバルブ。
- 排気弁:過圧を制御してチャンバーを保護する排気/安全弁。
- カソード:スパッタリング堆積システム向けのマグネトロンカソード。
- 回転式フィードスルー:真空ハウジングを貫通して回転を伝達するフィードスルー。
利用可能なドキュメント(タイトルのみ)
- V-Switch(ドキュメント)
- Gate