真空真空センサ P1204

ピエゾ抵抗型フランジ取り付け産業用

概要
真空およびスパッタリング用途向けのコンポーネントと装置の包括的なラインナップで、チャンバーの隔離、圧力制御、真空エンクロージャを介した運動伝達向けにSocrate Industrieが開発しました。

掲載製品

• 真空スイッチ：接続点での真空の有無を検知し、電気制御やインターロック用途に適します。
• 特定ゲートバルブ：クラスター装置やプロセスツールでのチャンバー隔離用の加熱式ゲートバルブ。
• 排気弁：過圧を制御してチャンバーを保護する排気／安全弁。
• カソード：スパッタリング堆積システム向けのマグネトロンカソード。
• 回転式フィードスルー：真空ハウジングを貫通して回転を伝達するフィードスルー。

利用可能なドキュメント（タイトルのみ）

• V-Switch（ドキュメント）
• Gate valve（ドキュメント）
• Safety valve（ドキュメント）
• Magnetron（ドキュメント）
• Feedthroughs（ドキュメント）

技術仕様

• ブランド：Socrate Industrie
• 製品種別：真空スイッチ、加熱式ゲートバルブ、排気／安全弁、マグネトロンカソード、回転式フィードスルー
• 用途：真空システム、スパッタリングシステム、クラスター装置内のチャンバー隔離、真空エンクロージャを通した回転運動の伝達
• ドキュメント：各製品のPDFファイルを提供
• ページ種別：製品群 / コンポーネント一覧