製品名 加熱式空気圧ゲートバルブ
説明 クラスターシステム内のチャンバー分離用に設計された加熱バルブです。結露を防ぎ、プロセス温度を維持するための温度制御サーマライゼーションを備えた、受注開発の空気圧式ゲートバルブです。
ハイライト- 真空チャンバーの隔離用加熱ゲートバルブ
- 空気圧式自動駆動カスタム開発
- クラスターシステムへの組込みを想定した設計
- 温度制御画像ファイル名は150°Cでの運転を示唆
ドキュメント 技術ドキュメントPDFはメーカーより入手可能です。
仕様 / 技術仕様- タイプ加熱式ゲートバルブ
- 機能クラスターシステム内のチャンバー隔離
- 駆動空気圧式自動駆動
- カスタマイズSocrate Industrieによる受注開発
- 温度制御 / 指示最大温度150°C画像ファイル名に基づく