製品名 加熱式空気圧ゲートバルブ
説明 クラスターシステム内のチャンバー分離用に設計された加熱バルブです。結露を防ぎ、プロセス温度を維持するための温度制御(サーマライゼーション)を備えた、受注開発の空気圧式ゲートバルブです。
ハイライト- 真空チャンバーの隔離用加熱ゲートバルブ
- 空気圧式自動駆動(カスタム開発)
- クラスターシステムへの組込みを想定した設計
- 温度制御(画像ファイル名は150°Cでの運転を示唆)
ドキュメント 技術ドキュメント(PDF)はメーカーより入手可能です。
仕様 / 技術仕様- タイプ:加熱式ゲートバルブ
- 機能:クラスターシステム内のチャンバー隔離
- 駆動:空気圧式自動駆動
- カスタマイズ:Socrate Industrieによる受注開発
- 温度制御 / 指示最大温度:150°C(画像ファイル名に基づく)