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... 工作機械の主軸誤差を診断するSpindle Analyzerには3つのモデルがあります。Dynamicモデルは、回転誤差の動きを迅速に測定します。熱モデルは、機械の5自由度（X,Y,Z軸＋ピッチ、ヨー）の主軸安定性を熱分散とともに測定します。また、コンビネーションモデルも用意しています。 詳細については、当社ウェブサイトをご覧ください。 ...
... EVG610ボンドアライメントシステムは、ウェーハとウェーハのアライメントを最大150 mmまで対応するように設計されています。 EVグループのボンドアライメントシステムは、底面顕微鏡による手動高精度アライメントステージを提供します。 EVGのボンドアライメントシステムの精度は、MEMS生産および3D統合アプリケーションなどの新興分野で最も要求の厳しいアライメントプロセスに対応します。 特長 EVG® 501およびEVG® 510ボンディングシステムに最も適した ウエハおよび基板サイズ最大150/200 ...
... ER-MNS-05A ドリルリグ用動的追跡MEMS北シークシステム 製品紹介 ER-MNS-05Aは最新のMEMSジャイロ技術を採用し、サイズと性能の完璧なバランスを実現しました。そのコンパクトなサイズは、様々な小型装置や複雑なシステムへの適応を容易にし、スペースと重量に敏感なシナリオに適しています。主に鉱山工学、地下掘削、建設などの分野で使用され、トンネル掘削機や鉱山機械などのエンジニアリング機械に組み込むことができます。 磁場に依存する従来の計測機器とは異なり、ノースファインダーに内蔵された高精度MEMSジャイロセンサーは、地球の自転角速度成分を正確に計測し、磁場の影響を受けずに地理的な真北方向の正確な計測を実現します。動的な追尾・保持測定が可能で、静的なアライメント方位精度は1°/30秒、アライメント精度が0.5°の場合の追尾・保持精度は0.5°/20分です。 用途 先進的な採掘/掘削装置の方向指示 炭鉱、金属鉱山などの地下坑道における掘削作業。カンチレバートンネル掘削機や連続炭鉱掘削機などの大型装置に適しています。 地下坑道における採掘用無人搬送車などの搬送機器の姿勢・方位計測 精密プラットフォームの姿勢計測と制御 土地測量/地質調査における北方探索 ...