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Nanoposicionadores com controlador
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Curso: 500 mm
Repetibilidade: 0,05 µm
...
- Controlador EBD-060310 incluído
- Curso: 500 µm
- Resolução: 5 nm / 31 nm
- Repetibilidade: 50 nm
- Compatível com a maioria das mesas de varredura Märzhäuser SCAN IM
- Ligação
Curso: 100, 200, 300 mm
Velocidade: 5 mm/s
Repetibilidade: 0,015 µm - 0,02 µm
... material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Curso: 10 mm
Velocidade: 5 mm/s
... configurável: - Com e sem sistema de medição - Opcionalmente com accionamento por parafuso de chumbo ou por parafuso de esferas lubrificado para velocidades mais elevadas - Pode ser combinado ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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