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Resistências de aquecimento wafer
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... de alto desempenho
Potência: 0,01 kW - 0,05 kW
Temperatura máxima: 800 °C - 800 °C
... (alguns XF ≤60 ms).
Potência: 0 kW - 500 kW
Temperatura máxima: 300 °C - 1.350 °C
... semicondutores empregados e os objetivos da instalação de fabricação. A seleção pode ser influenciada por fatores como tamanho do wafer, requisitos do processo e fluxo de trabalho geral de fabricação. Na prática, tanto fornos horizontais ...
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