Gerador de plasma programável eVerest RF

por radiofrequência

À medida que a indústria de semicondutores acelera em direção a uma nova inflexão, o gerador de RF eVerest® preenche a necessidade de controlo de plasma transformacional. A sua pulsação configurável em vários níveis permite uma temporização de transição instantânea ou definida pelo utilizador. Além disso, a sintonização de frequência baseada em modelos de alta velocidade e elevada precisão com uma vasta gama de varrimento de frequência proporciona uma maior estabilidade e controlo do processo. Estas capacidades, para além de uma resposta mais rápida ao ponto de ajuste, um overshoot controlado no início dos estados de pulsação e a sofisticada inteligência IoT do PowerInsight by Advanced Energy™, permitem a inovação do processo para o próximo nó tecnológico. Caraterísticas Sistema completo de fornecimento de RF, várias opções para soluções de correspondência e sincronização inteligente Velocidade e controlo em perfis de impulsos multinível programáveis Resposta de saída de RF de alta velocidade e tempos de subida/queda do estado de pulso Faixa de sintonia de frequência de até ±10% Estabilidade dP/dZ projectada Ecossistema IoT PowerInsight by Advanced Energy Benefícios Permite o desenvolvimento de novos processos para perfis de deposição e gravação < 2 nm Fornece ignição confiável com estabilidade de RF independente do comprimento do cabo Integra-se perfeitamente em qualquer sistema de plasma Aumenta o espaço do processo e alarga a janela de estabilidade Apoiado por suporte mundial a produtos e aplicações de centros de serviços locais