A versátil família Apex® de geradores de RF e sistemas de fornecimento de energia apresenta um design compacto e modular adequado para montagem em câmara. Utilizando uma sofisticada tecnologia de conversão de RF, os geradores de RF e os sistemas de fornecimento de energia Apex oferecem uma maior fiabilidade do produto e do processo. As capacidades de potência de alta densidade tornam-nos ideais para processos de plasma avançados. E vários modelos de comunicação e caraterísticas configuráveis permitem-lhe personalizar a sua plataforma e explorar abordagens de integração. Não são necessários prazos de entrega de geradores personalizados.
Caraterísticas
Elevada densidade de potência num design simplificado
Opções de montagem em câmara integrada, montagem em estrutura de ferramenta, montagem em rack e caixa de sapatos
Circuitos de controlo de banda larga
Controlo de impulsos opcional
Gestão de arco de alta velocidade
Vantagens
Integração rápida de ferramentas de processo com maior flexibilidade
Estabiliza a operação do plasma
Melhorar o rendimento para uma gestão rápida do arco
Personalize e configure facilmente de acordo com os requisitos do seu processo
---