Oferecemos uma vasta gama de sistemas de controlo de temperatura extremamente eficientes e fiáveis para a indústria de semicondutores. O conceito modular permite actualizações convenientes e económicas do sistema, maior segurança do investimento e fácil personalização.
Tecnologia de base
Design de mandril universal - um mandril para sistemas refrigerados a ar e a líquido
Design híbrido do mandril - funcionamento com e sem unidade de refrigeração
Sistemas de alta temperatura refrigerados a ar
Mandril híbrido utilizável para arrefecimento a ar e a líquido
A tabela abaixo mostra a visão geral das especificações gerais. O desempenho da bucha pode variar consoante os diferentes tipos de escavadoras e aplicações.
Advanced Temperature Test Systems significa os melhores componentes disponíveis para os nossos produtos e a tecnologia de fabrico mais avançada. Os nossos produtos são concebidos para uma estabilidade e precisão térmicas e mecânicas excepcionais.
Tecnologia AddOn
Pilhas AddOn modulares para várias aplicações
eWLB, HV/HC, LN, Plain, Caro, etc.
Baixa resistência térmica (LTR)
Tecnologia de baixa resistência térmica (LTR)
Tecnologia MultiSense
Aplicações de alta precisão
Aplicações de alta potência
Alta precisão LTR
Tecnologia de baixa resistência térmica
MultiSense com vários sensores de temperatura
Concebida para dispositivos de baixa potência e sensores
Melhor precisão e uniformidade de temperatura
LTR de alta potência
Tecnologia de baixa resistência térmica
Para dispositivos de alta potência e alto paralelismo
Elevada dissipação de potência numa vasta gama de temperaturas
Controlo inteligente do ar seco
Controlo ativo de purga CDA para reduzir o consumo de ar seco
Controlo avançado de ar seco para purgar com dois meios individuais
Proteção da almofada de ligação
Controlo adaptativo do ponto de orvalho
Substratos finos/ondulados
Funcionalidade Bernoulli patenteada para bolachas e substratos extremamente finos
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