Máquina de polimento para metais POLI-762

de precisãocom mesa giratóriamecânica

POLI-762 é uma pequena polidora mecânica química de 12 polegadas, que adopta método de carregamento manual, pode opcionalmente ser equipada com palete de carregamento semi-automático, utiliza airbag de membrana para aumentar a pressão de forma flexível, e pode ser equipada com sistema de monitorização da força de fricção e do ponto final de temperatura, utilizado para o polimento planarizado de óxidos, metais, STI, SOI, MEMS e outros produtos. As aplicações são amplas. Funções completas Coloque a membrana de contrapressão na bolacha, a placa de polimento tem um sistema de arrefecimento incorporado. A função de monitorização do ponto final de detecção de fricção e temperatura e o sistema de pressurização em diferentes áreas é opcional. Operação simples Sistema de controlo de PC, controlo por ecrã táctil, palete de carregamento semi-automático é opcional, polimento automático CMP de um botão. Boa compatibilidade 3 condutas independentes de abastecimento de chorume, placa de polimento de fácil substituição, cabeça de polimento substituível de 4, 6, 8 & 12 polegadas, compatível com wafers de diferentes tamanhos e tipos. Pequeno espaço no chão Minimizar o espaço de chão de sala limpa.