Eficiente:
económica, elevada disponibilidade, energeticamente eficiente
Fácil manutenção:
intervalos de manutenção longos
Fiável:
funcionamento de confiança
Flexível:
orientada para a aplicação
Silenciosa:
nível de ruído < 58 dB(A)
A bomba COBRA BC 0100 F é uma bomba de vácuo de parafuso a seco, pertencente à gama de qualidade comprovada COBRA BC, que oferece soluções compactas de última geração para antecâmaras e sistemas de transferência selados, com funcionalidades adicionais de processamento para as aplicações mais exigentes em painéis solares, em ecrãs planos e em semicondutores. Esta bomba de vácuo oferece excelentes capacidades de trabalho com pós que resultam do seu desenho único de bomba de parafuso.
Equipada com motores de alta eficiência, com modo de standby de última geração, a bomba COBRA BC 0100 F oferece um excelente potencial de poupança de energia
Devido ao seu design otimizado e ao potencial de poupança de energia, o custo global de possuir esta bomba de vácuo da série COBRA é reduzido.
Aplicações
High-density plasma CVD (HDP CVD)
Rapid thermal processing (RTP)
Sub-atmospheric CVD (SACVD)
Metal-organic CVD (MOCVD)
Plasma-enhanced CVD (PECVD)
Low-pressure CVD (LPCVD)
Atomic layer deposition (ALD)
High-capacity Load Lock