Equipamento de front end EFEM

Sistema EFEM (Equipment Front End Module) Características e Vantagens * Manuseamento automático de wafers sem danos nos depósitos e entre depósitos. * Pinças Bernoulli opcionais para desbaste de wafers. * Produção personalizada para atender às necessidades do cliente. * Atendendo às necessidades dos clientes para vários / diferentes tipos de revistas e transferência de wafers com tamanhos diferentes. * Fornecido com mecanismo de abertura automática para revistas * Fornecido com dispositivo de filtragem eficiente (especificação HEPA). * Protecção ESD que cumpre as normas internacionais IEC e ANSI. * Suporte a protocolos de automação relacionados a semicondutores. * Módulo OCR opcional para Wafer ID, que pode lidar com códigos de barras, códigos QR, números e letras. O módulo de front-end do equipamento é usado principalmente para realizar o fornecimento e descarregamento automático de wafers para equipamentos semicondutores, reduzir custos de produção, melhorar a eficiência da produção, garantindo a precisão do processo e os requisitos de purificação. O sistema possui funções de digitalização automática de wafer, transferência automática e calibração automática, pode ser fornecido com leitor de identificação (frente e verso) de acordo com as necessidades do cliente e pode ser personalizado com base no tamanho do wafer, quantidade de magazine e tipo de alinhador, etc. Com integração independente, a empresa está empenhada em fornecer várias soluções de sistemas de automação de manuseamento de bolachas para clientes da indústria de semicondutores. O equipamento atende às necessidades da indústria de semicondutores, é compatível com protocolos internacionais de comunicação de semicondutores, suporta módulos de comunicação SECS/GEM e atende aos requisitos de gerenciamento de informações e tendências de gerenciamento não tripulado.