Sensor de gás NDIR Gasboard-2061

para medição de processospara monitoramento de purificação de gases para semicondutorespara controle de processo

Visão geral
O Gasboard-2061 é um sensor de gás NDIR concebido para medir em tempo real a concentração de WF6 e para detecção de endpoint (EPD) em câmaras de deposição CVD de tungsténio (WCVD). Fornece leituras sensíveis e repetíveis em condições de vácuo e de processo, permitindo indicação precisa do endpoint e redução do consumo de gás de limpeza.

Projeto e integração
Compacto e modular, o Gasboard-2061 foi projetado para fácil instalação em linhas de processo a vácuo. A construção em 316L e o trajeto óptico selado tornam-no resistente a gases de processo corrosivos. Suporta I/O analógica e digital e comunicação RS485 para calibração, registo de dados e integração em sistemas de controlo de processo.

Características

• Tecnologia NDIR otimizada para medição de WF6.
• Resposta rápida para monitorização em tempo real de alterações de concentração.
• Baixa deriva do zero e alta repetibilidade para medições consistentes.
• Design selado adequado a ambientes de vácuo.
• Construção em 316L resistente à corrosão para compatibilidade com processos agressivos.
• Saídas analógicas (0–5 V ou 4–20 mA), entrada analógica e I/O digital para integração flexível.

Especificações (tabela)
Componente medido: WF6
Intervalo: 0–200 mTorr
Repetibilidade: ±0,5%
Precisão: ±1% F.S.
Tensão de funcionamento: 24 VDC
Corrente de funcionamento: 1,5 A (máx)
Saída analógica: 0–5 VDC (4 ch) ou 4–20 mA (4 ch)
Entrada analógica: 0–10 VDC (1 ch)
Saída digital: 4 ch
Entrada digital: 1 ch
Comunicação: RS485
Porta de amostragem: NW25
Taxa de fuga: ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He)
Temperatura ambiente de funcionamento: 20–35 ℃

Notas sobre condições de medição
1. Os dados são medidos sob pressão atmosférica padrão.
2. Os gases de calibração são fornecidos por institutos de metrologia acreditados; gases diluídos em N2 seco (pureza ≥99,999%).
3. Os valores de desempenho são fornecidos após calibração; cada sensor é calibrado a 100% na produção.
4. As medições são realizadas a 25 °C de temperatura ambiente.

Especificações técnicas

• Modelo: Gasboard-2061
• Gás medido: WF6
• Intervalo: 0–200 mTorr
• Repetibilidade: ±0,5%
• Precisão: ±1% F.S.
• Alimentação: 24 VDC
• Corrente máx.: 1,5 A
• Saídas analógicas: 0–5 VDC (4 ch) ou 4–20 mA (4 ch)
• Entrada analógica: 0–10 VDC (1 ch)
• Saídas digitais: 4 ch; Entrada digital: 1 ch
• Interface de comunicação: RS485
• Porta de amostragem: NW25
• Taxa de fuga (He): ≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• Temperatura ambiente de funcionamento: 20–35 ℃
• Construção: materiais resistentes à corrosão 316L; design selado adequado a ambientes de vácuo