Placa de aquecimento em alumínio

de precisão

Utilizando tecnologia de ponta em aquecedores, a Durex fabrica placas de cozimento de precisão fundidas especificamente para o processamento de semicondutores de 200mm, 300mm e wafers de 450mm. Os aquecedores de platina fundidos são fundidos em alumínio puro (99,7%) para garantir temperaturas máximas de operação de 450°C (842°F) com risco mínimo de contaminação do processo. O processo de fundição é controlado para eliminar quaisquer defeitos na superfície usinada ou no corpo de fundição que seriam causados pela porosidade. Um elemento de aquecimento isolado mineral é distribuído por toda a fundição para fornecer uniformidade de temperatura de superfície de ± 1% ou melhor da temperatura de operação do processo. Um acabamento anodizado duro disponível fornece uma barreira dielétrica resistente à abrasão na superfície de trabalho do aquecedor de placa de cozimento fundido.