Sistema de purificação para gás GateKeeper
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Características
- Especificações
- para gás
Descrição
Sistemas de purificação de gás GateKeeper
As séries de mídia GPS (HX, DX e Z2) fornecem uma série de gases purificados nos níveis de partes por trilhão (ppt) a um baixo custo de propriedade
Vazões máximas variando de 311 SLM a 932 SLM
As aplicações incluem ferramentas de imersão litográfica, produção de semicondutores e LEDs
Purificadores auto-regeneram-se automaticamente, garantindo um fluxo contínuo de gás puro
O projeto compacto usa o mínimo de espaço fabril para garantir a economia de custos da instalação
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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.