Sistema de medição de temperatura CM300xi

para waferspara calibraçãomicroscópio

O melhor desempenho de medição da classe com um elevado nível de automatização no laboratório* A estação de sonda CM300xi responde aos desafios de medição trazidos por ambientes extremamente complexos, tais como testes sem vigilância em pequenas almofadas ao longo do tempo e a múltiplas temperaturas. O melhor desempenho de medição da classe é alcançado para uma vasta gama de aplicações num ambiente de teste protegido por EMI, à prova de luz e sem humidade. Melhorias na gestão térmica e capacidades de automatização laboratorial resultam em melhores rendimentos e tempo mais rápido para os dados. O CM300xi apoia o Contacto Intelligence™ - uma tecnologia única que permite o teste autónomo de semicondutores. Uma combinação poderosa de concepção de sistema inovador e processamento de imagem de última geração proporciona uma solução independente do operador para obter dados de medição altamente fiáveis em qualquer altura e temperatura. Com a unidade de manipulação de material, a estação de sonda CM300xi combina o teste de wafer totalmente automatizado com a mais alta precisão e flexibilidade. O sistema pode processar até cinquenta wafers de 200 ou 300 mm fornecidos em cassetes de wafer padrão SEMI.