Sistema de medição 3D MicroProf® FE

para wafers

O FRT MicroProf® FE é a ferramenta de metrologia de bolachas FormFactor® padrão, totalmente automatizada 2D/3D. Combina as capacidades do MicroProf 300 estabelecido com um sistema de manipulação de bolachas dentro de um Módulo de Equipamento Front End (EFEM). Com soluções metrológicas totalmente compatíveis com SEMI e componentes de hardware quase isentos de manutenção, proporcionando uma inspecção de alto rendimento, o MicroProf FE é a solução metrológica em qualquer fabrico de HVM frontal. Para além da configuração padrão, o FRT MicroProf FE pode ser equipado com numerosas características adicionais, que também podem ser posteriormente reequipadas.